康派克晶圆载具适用于 2 英寸、4 英寸等规格晶圆，可用于硅片、玻璃基板及其他圆形薄片的存放、周转与运输。SW 系列适用于单片晶圆，W 系列可容纳多片晶圆。具体适配尺寸、洁净度和材料要求请以产品规格或实际确认结果为准。
